传感器的振动系统由“m-k”系统组成,与一般加速度计相同,但质量m上附有一个电磁线圈。当底座上有加速度输入时,质量块偏离平衡位置。位移由位移传感器检测,由伺服放大器放大,并转换为电流输出。电流流过电磁线圈,在永磁体的磁场中产生电磁恢复力,试图将质量块保持在仪器外壳位置的原始平衡,因此伺服加速度传感器在闭环状态下工作。
加速度传感器的分类:
1、压电式
压电加速度计也称为压电加速度传感器。它也是一个惯性传感器。
压电加速度计的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应。当加速度计振动时,质量施加在压电元件上的力也会发生变化。当测得的振动频率远低于加速度计的固有频率时,力的变化与测得的加速度成正比。
2、压阻式
压阻式加速度传感器基于MEMS硅微加工技术,具有体积小、功耗低等特点,易于集成在各种模拟和数字电路中,广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。
3、电容式
电容式加速度传感器是一种基于电容原理的电容传感器。电容式加速度计是一种通用的加速度计。它在一些领域是不可替代的,例如安全气囊、手机和移动设备。电容式加速度计/电容式加速度传感器采用微电子机械系统(MEMS)技术,在大规模生产中变得经济,从而确保低成本。
4、伺服式
伺服加速度计是一种动态性能好、动态范围大、线性度好的闭环测试系统。